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半導體裝置

在先進材料的開發上,其材料結構、組成控制皆已達到原子等級,因此,將眼光放在「微細」、「微小」、「極薄」這3個關鍵字上的SCAS,也引進了最先進的穿透式電子顯微鏡,並開發獨家的前處理技術。另外可依顧客需求進行晶圓表面金屬汙染、分子狀汙染物質(SMCs)或裝置零件(配管、陶瓷、石英)的超高感度定量分析等,為您提出各種分析手法。

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