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- 製造裝置材料之萃取試驗
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- 製造設備內的沉積物分析
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- 電子材料之化學構造解析
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- 釋氣（Outgas）分析
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- 真空釋氣（Outgas）分析
- 真空環境中產生之成份解析
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- 有機層的組成構造解析
- 有機材料的低損害測定
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- 以AEM進行層構造解析
- 使用ALD沉積之FIB-TEM觀察
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- 使用超高分解能STEM觀察原子層
- 活用W-SDD 以解析原子分解能組成
- CMP製程材料、研磨解析
- Slurry 與Dishing評價
- 評估分子狀汙染物質
- 電子元件之高精細化與提高良率
- Low level α線測定
- 粉末・FILM・基板等多型態皆適用
