半導體、液晶面板、硬碟等電子裝置的產業界中,由於加工尺寸微細化,其製造環境所講求的清潔度也愈加嚴格。
SCAS可運用獨家的高感度檢測技術,評估無塵室、製造裝置內等裝置製造相關之所有環境中的微量化學汙染狀況。另外,也可藉由無塵室結構材料、裝置結構材料以及製造原料之評估,以綜合性的方式支援化學汙染的原因分析。
半導體、液晶面板、硬碟等電子裝置的產業界中,由於加工尺寸微細化,其製造環境所講求的清潔度也愈加嚴格。
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