與電子裝置的製造相關之材料或流程（材料、環境），為提高良率而需要抑制粒子或雜質、釋氣等。SCAS以長年培養之高度捕集技術、前處理技術，配合對象物質進行高感度的定量分析與定性分析。另外，裝置內外產生之汙染物質或異物，也可使用獨家採樣技術捕集後進行因素分析。
與電子裝置的製造相關之材料或流程（材料、環境），為提高良率而需要抑制粒子或雜質、釋氣等。SCAS以長年培養之高度捕集技術、前處理技術，配合對象物質進行高感度的定量分析與定性分析。另外，裝置內外產生之汙染物質或異物，也可使用獨家採樣技術捕集後進行因素分析。